#Росатом #литограф #осталось_дождаться Российский рентгеновский литограф будет создан при участии «Росатома». ❇️ В июле этого года премьер Михаил Мишустин побывал в городе Саров, где он посетил филиал МГУ имени М.В.Ломоносова и институт лазерно-физических исследований. И поездка эта не прошла даром. По итогам поездки Мишустин дал ряд поручений, в том числе, касающихся научных разработок саровского Национального центра физики и математики.  ❇️ Так, Минпромторгу и Минэкономразвития было поручено проработать предложения «Росатома» по нескольким проектам, в том числе, по проекту создания отечественного рентгеновского литографа и производственных технологий для его использования. Срок исполнения поручений — 30 августа 2023 года. ❇️ Август закончился, предложения «Росатома», очевидно, проработаны, добро получено, и «Росатом» начал финансирование проекта средствами из своих инвестиционных программ. Как сказал научный руководитель Национального центра физики и математики, академик РАН Александр Сергеев, проект также пользуется активной поддержкой правительства страны ❇️ Таким образом, можно констатировать, что работа началась. ❇️ К концу 2025-го года может быть изготовлен прототип установки на 90 нм, а промышленный образец к концу 2028-го года на 32 нм. Затем нормы будут постепенно продолжать снижаться за счёт более точной донастройки оборудования. Этапы создания рентгеновского литографа Альфа-машина ❇️ Этот этап рассчитан на 2 года и уже начат в инициативном порядке. Разработана 3D-модель вакуумной камеры, начато её изготовление. Разработана 3D-модель рентгенооптической системы. ❇️ Оптика машины будет давать разрешение менее 28 нм, но за счёт пока ещё несовершенной системы позиционирования (сканирования и совмещения) технологические нормы на этом этапе ожидаются в районе 90 нм. ❇️ Теоретический предел производительности этого прототипа в случае автоматической подачи пластин диаметром 100 мм — 40 пластин в час. Фактически же подача будет ручная, и реальная производительность будет находится в районе 3-х пластин в час. ❇️ Таким образом, прототип обещает быть построенным к концу 2025 года.  Промышленная машина 1-го поколения ❇️ Длительность работ по этому проекту оценивается в 3 года. В бета-машине топологическую норму рассчитывают поднять до 32 нм. ❇️ Уже этот вариант можно считать промышленным, и его можно будет поставлять предприятиям микроэлектронной промышленности. Его обещают построить к концу 2028 года. Промышленные машины последующих поколений ❇️ Работы по литографу будут продолжаться, и появятся следующие поколения машин. На появление новых поколений ранее также отводилось 3 года. Планировалось постепенное улучшение всех характеристик машины. Технологические нормы рассчитывали поднять до 28 нм, а затем до 16 и 12 нм. Таким образом, к 2032-му году у нас может быть собственное оборудование, как минимум, для техпроцесса 28 нм, а как прогнозируемый учёными максимум — 12 нм. Если планы осуществятся, это будет национальный технологический прорыв.